Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^(-4)м и поверки (калибровки) оптических, оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других микроскопов и средств измерений малой длины.
Карточка СИ
| Номер в госреестре |
46672-11 |
| Наименование СИ |
Меры рельефные
|
| Обозначение типа СИ |
Кварц-XY1400/Z90нм |
| Изготовитель |
ОАО "Завод Протон-МИЭТ" |
| Год регистрации |
2011 |
| Срок свидетельства |
21.04.2016 |
| МПИ (интервал между поверками) |
1 год |
| Описание типа |
скачать |
