| Номер в госреестре | 98180-26 |
| Наименование СИ | Комплект мер толщины |
| Изготовитель | Акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет» |
| Год регистрации | 2026 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Комплект мер толщины (далее по тексту - комплект) предназначен для воспроизведения значений толщины пластин из полупроводниковых материалов.
Принцип действия комплекта основан на воспроизведении заданных значений толщины.
Комплект состоит шести мер, которые отличаются друг от друга воспроизводимыми значениями толщины.
Конструктивно меры в комплекте представляют собой пластины круглой формы, изготовленные из полупроводниковых материалов.
Заводской номер комплекта в цифровом формате и перечень образцов (с указанием их обозначений и заводских номеров), указаны на шильдике размещенном на упаковке комплекта, а также в паспорте на комплект. К комплекту данного типа относится комплект мер толщины зав. № 1, в состав входит 6 мер толщины: InAs 3’ d=2360, № Г-132 #1; InAs 3’ d=2060; № Г-132 #10; InSb 3’ d=1280, № 108 #31; InSb 3’ d=750, № 108 #1; GaSb 3’ d=680, № 17 #9; InSb 2’ d=575, № 1110 #10. Место нанесения заводского номера на комплект мер толщины представлено на рисунке 1.
Нанесение знака поверки на образцы не предусмотрено. Пломбирование образцов не предусмотрено.
Общий вид образцов представлен на рисунке 1.
Место нанесения заводского номера
Рисунок 1 - Общий вид образцов комплекта мер толщины
Таблица 1 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Номинальные значения толщин, мкм | |
| - Мера InSb 2’ d=575, № 1110 #10 | 575 |
| - Мера GaSb 3’ d=680, № 17 #9 | 680 |
| - Мера InSb 3’ d=750, № 108 #1 | 750 |
| - Мера InSb 3’ d=1280, № 108 #31 | 1280 |
| - Мера InAs 3’ d=2060, № Г-132 #10 | 2060 |
| - Мера InAs 3’ d=2360, № Г-132 #1 | 2360 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения толщины, мкм | ±25 |
| Доверительные границы абсолютной погрешности воспроизведения | ±(0,25+0,0025-L) |
| толщины, мкм | |
| Стандартное отклонение среднего арифметического значения | ± (0,1+0,0001-L) |
| толщины, мкм | |
| Разнотолщинность TTV, мкм, не более | 4 |
| Примечание: | |
| L - измеренное значение толщины, мкм |
Таблица 2 - Технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, %, не более | от +15 до +35 75 |
| Диаметр мер, мм, не более Мера InSb 2’ d=575, № 1110 #10 Меры GaSb 3’ d=680, № 17 #9; InSb 3’ d=750, № 108 #1; InSb 3’ d=1280, № 108 #31; InAs 3’ d=2060, № Г-132 #10; InAs 3’ d=2360, № Г-132 #1 | 52 77 |
| Масса комплекта, кг, не более | 0,4 |
| Материал мер | InAs InSb GaSb |
наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Комплект мер толщины | - | 1 шт. |
| Паспорт | ВИМ.001-00.00.000ПС | 1 экз. |
приведены в разделе 3 «Заметки по эксплуатации» Паспорта ВИМ.001-00.00.000ПС «Комплект мер толщины. Паспорт».
Локальная поверочная схема.
